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一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法

时间:2021-09-23 10:59:47 点击:

  核心提示:一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法,步骤包括:将氧化镁靶材溅射面、背板非喷涂面均用耐高温布包裹保护;清洗喷涂的部位;对喷涂部位进行喷砂处理;再次清洗喷涂部位;等离子喷涂工艺进行氧化铝喷涂;氧化铝涂...
一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法,步骤包括:将氧化镁靶材溅射面、背板非喷涂面均用耐高温布包裹保护;清洗喷涂的部位;对喷涂部位进行喷砂处理;再次清洗喷涂部位;等离子喷涂工艺进行氧化铝喷涂;氧化铝涂层进行磨削抛光处理。本发明的氧化铝涂层能在磁控溅射中保护氧化镁靶材和背板,能有效避免焊接层料因发热而受损影响磁控溅射,延长氧化镁靶材使用寿命,对降低镀膜不良率,提高成膜质量起着至关重要作用。

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